d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

  l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。

 2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
  a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
  b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
  c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
  d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
  e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。

  f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。